SEMICON China 2025也已进入开幕倒计时状态!作为全球半导体产业的年度盛事,今年的SEMICON China又将带来哪些惊喜呢?今天,宝帝与您一起探索SEMICON China 2025的参观攻略,为你揭开这场科技盛宴的神秘面纱!
展会将于2025年3月26至28日,在上海新国际博览中心举办,展会将涵盖半导体制造、封装测试、设备材料等多个领域,宝帝诚邀您前来交流,一同探索半导体应用中的流体控制技术!
用于刻蚀镀膜冷却工艺解决方案
Bürkert 参与的刻蚀镀膜冷却环节:反应腔室、E-CHUCK、分子泵/真空泵、射频电源等。
ESC Cooling
ESC 是刻蚀机中的核心部件,其冷却系统至关重要,Bürkert 针对该工艺提供解决方案:
通过 2 组Burkert气动阀的高频开关控制 Chiller 的高低温氟化液汇流循环,以实现机台的调温目的。
通过2组Burkert电动阀的控制 Chiller 的高低温氟化液汇流循环,以实现机台的无极调温目的。
PCW Cooling
Bürkert 解决方案可用于控制 2-3 路 DI water,各支路数据通过工业以太网网关采集和交换,实现控制、监控和诊断,以实现冷却水的闭环控制。
测试分选机高效冷却解决方案
测试分选机在高负荷运行时,发热问题严重影响设备稳定性和使用寿命。Bürkert 冷却系统解决方案通过工业以太网通讯,实现采集和交换、控制、监控和诊断,提升设备整体性能和效率,确保测试分选机稳定运行。
如果您从事半导体相关行业,关注刻蚀镀膜冷却工艺和测试分选机的高效冷却等半导体相关应用,一定不要错过宝帝在 Semicon 展会的精彩呈现!
3月26 - 28日,上海新国际博览中心,宝帝与您不见不散E6-6670,携手探索半导体领域工艺流程。
届时宝帝携手Bürkert系统解决方案及更多Bürkert展品亮相Semi展会敬请期待!
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